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衍射光學(xué)元件(Diffractive Optical Elements) 簡稱 DOE元件, 又稱二元光學(xué)器件,主要用于激光束整形,比如均勻化、準(zhǔn)直、聚焦、形成特定圖案等。
法國SILIOS成立于2001年,SIIOS公司提供客戶定制的衍射光學(xué)元件DOE,適用于對Nd:YAG、CO2、飛秒激光器、半導(dǎo)體激光器等各種激光器進(jìn)行光束整形。根據(jù)不同的應(yīng)用需求,衍射光學(xué)元件DOE可以作為全息片或菲涅耳波帶片。
其主要產(chǎn)品包括:
l 激光分束:根據(jù)定義的衍射圖案(規(guī)則或無規(guī)則的點(diǎn)陣),使單個入射激光光束分裂成多束出射光束。
l 光束整形:通常用于把高斯光束整形成平頂?shù)墓馐?,按照?qiáng)度要求的圓形或者方形的光斑。
l 圖像生成:用于生成比如logo,方形,線條,或者圓環(huán)。根據(jù)客戶的需要定制。
l 衍射透鏡:用于校正色差像差。
主要應(yīng)用包括激光光束整形(如激光加工、醫(yī)療、成像系統(tǒng)、傳感器,圓形或方形平頂光束整形,矩陣、柵格、線形、圓形圖案整形)和用作天文學(xué)中的相位器件。典型應(yīng)用描述如下:
1. 在科研中應(yīng)用: 摻鈦藍(lán)寶石的泵浦光整形;腔內(nèi)激光束整形; 飛秒激光束整形。
2. 在醫(yī)療中應(yīng)用: 對去皺紋的Er: G*ass激光束整形;對治療血管損傷的KTP激光束整形;對治療眼角膜的準(zhǔn)分子激光束整形。
3. 在激光加工中應(yīng)用:焊接;切割;熱處理;打標(biāo)。
4. 在天文學(xué)中應(yīng)用:大氣擾動模擬相位片;多個望遠(yuǎn)鏡鏡片相位調(diào)整;行星探測;成像系統(tǒng)的像差矯正相位片。
產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù):
* 基片: 直徑:可達(dá)100mm
* 厚度:0.5mm—9.5mm
* 材料:熔融石英,BK7,…
* 鍍膜:AR增透膜
* 編碼相位圖數(shù)據(jù):客戶提供相位圖數(shù)據(jù)
* 像素尺寸:可達(dá)1 X 1μm2
* 編碼相位圖:多階(2,4,8或16階)
* 波前PTV:0--2π