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微結(jié)構(gòu)光學(xué)是指以微、納米尺度結(jié)構(gòu)對(duì)光波參量進(jìn)行操控的研究方向;中科院光電所微結(jié)構(gòu)光學(xué)研究團(tuán)隊(duì)以發(fā)展微納結(jié)構(gòu)光學(xué)設(shè)計(jì)、微納結(jié)構(gòu)核心光學(xué)元件制備工藝及集成化新型光學(xué)系統(tǒng)為宗旨。在國(guó)家、總裝重大工程及國(guó)民經(jīng)濟(jì)需求的牽引下,已經(jīng)形成了全套的、系統(tǒng)的微納結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與制備工藝體系。
2006年,董小春博士在國(guó)際上提出了全新的“掩模移動(dòng)濾波”微結(jié)構(gòu)成形技術(shù),攻克了“任意排列、非球面面形”微透鏡陣列的成形難題(APPLIED PHYSICS LETTERS 89, 261105 2006及董小春博士學(xué)位論文),形成了規(guī)則/非規(guī)則排布、高填充因子、無(wú)正交性誤差的微結(jié)構(gòu)(包括位相片、微透鏡)成形工藝; 在此基礎(chǔ)上,研究團(tuán)隊(duì)通過(guò)校正光刻與刻蝕工藝過(guò)程中的非線性誤差,實(shí)現(xiàn)了微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件面形的準(zhǔn)確控制。實(shí)現(xiàn)了低像差、成像級(jí)微光學(xué)結(jié)構(gòu)制備。
2015年,研究團(tuán)隊(duì)針對(duì)“掩模移動(dòng)濾波技術(shù)”進(jìn)行再次改進(jìn),通過(guò)對(duì)掩模進(jìn)行二維編碼調(diào)控,建立了全新的“二維移動(dòng)濾波技術(shù)”。該技術(shù)在保留“掩模移動(dòng)濾波技術(shù)”所有優(yōu)點(diǎn)的基礎(chǔ)上,使移動(dòng)濾波掩模的灰度等級(jí)提升了近10倍,實(shí)現(xiàn)了無(wú)散斑、低旁瓣、高能量利用率微透鏡陣列的準(zhǔn)確成形。
經(jīng)過(guò)不斷的發(fā)展,研究團(tuán)隊(duì)建立了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、集微光學(xué)器件設(shè)計(jì)、加工制作、檢測(cè)全過(guò)程的微結(jié)構(gòu)光學(xué)平臺(tái)。研究團(tuán)隊(duì)是國(guó)內(nèi)能夠?qū)崿F(xiàn)非球面面形、非規(guī)則排布微透鏡陣列制備的研究隊(duì)伍,目前與“成都印鈔造幣廠”、“中鈔長(zhǎng)城貴金屬有限公司”“成都科奧達(dá)光電技術(shù)有限公司”、“綿陽(yáng)綻放科技”、“深圳國(guó)寶金幣有限公司”“深圳拉姆達(dá)防偽技術(shù)有限公司”等單位建立合作關(guān)系,相關(guān)產(chǎn)品已經(jīng)在自適應(yīng)光學(xué)、CCD增強(qiáng)耦合、ICF光學(xué)系統(tǒng)像差校正等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。課題組將繼續(xù)本著“技術(shù)開(kāi)拓、服務(wù)大眾”的原則,為國(guó)內(nèi)外用戶提供精密的、可靠的、快速的產(chǎn)品與服務(wù),歡迎相關(guān)企業(yè)及科研院所來(lái)電咨詢,合作研究。